中文名：六氟化钨

英文名：Tungsten hexafluoride

化学式：WF6

分子量：297.830

CAS号：7783-82-6

EINECS号：232-029-1

熔    点：2.3 ℃

沸    点：17.5 ℃

密    度：13.1 kg/m³

外    观：无色气体

溶解性：溶于多数有机溶剂

六氟化钨，无色气体或浅黄色液体，固体为易潮解的白色结晶，在潮湿空气中冒烟。主要用于钨的化学蒸镀，用作氟化剂。

六氟化钨（WF6）是唯一能稳定存在的钨的氟化物，具有极强的腐蚀性，可根据外界环境的变化表现出灵活的物化性能，被广泛应用于工业生产的各个领域。六氟化钨在电子工业中主要作为集成电路的配线材料使用，其在经过化学气相沉积工艺后可形成金属钨导体膜，钨导体膜在集成电子学中通常被用作高传导性的互连金属、金属层间的通孔和垂直接触的接触孔以及铝和硅间的隔离层，因此被广泛应用于半导体集成领域；另外，六氟化钨还可以应用于太阳能吸收器以及X射线发射电极的制造、导电浆糊等电子元器原材料。

包装：15KG/10L钢瓶、50KG/40L钢瓶。