中文名：全氟丁二烯

英文名：perfluorobuta-1,3-diene

中文别名：全氟-1,3-丁二烯、六氟-1,3-丁二烯

密度：1.4±0.1 g/cm3

沸点：18.6±35.0 °C at 760 mmHg

熔点：-132ºC

分子式：C4F6

分子量：162.033

CAS：685-63-2

EINECS：211-681-0

外观性状：无色，无气味的液化气体。

六氟丁二烯又称全氟丁二烯，六氟丁二烯主要用作合成原料、电子特气，用于化学合成、电子蚀刻等领域。最初合成出来是作为聚合物的单体，但是其聚合物的性能不佳，没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。在电子蚀刻方面，六氟丁二烯可用作蚀刻气体，具有高选择性、高蚀刻精度、高蚀刻效率、低环境污染等优点，发展潜力大，因此，此领域成为六氟丁二烯的主要下游市场。

含氟电子特气是电子特气的重要组成部分，可用于清洗、蚀刻等方面，而电子级六氟丁二烯是含氟电子特气产品之一。

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