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八氟环戊烯
    发布时间: 2023-02-27 16:24    
八氟环戊烯

中文名称:全氟环戊烯

中文别名:八氟环戊烯

CAS No:559-40-0

EINECS号:209-203-0

纯度:99.9%;99.99%

分子式:C5F8

分子量:212.04

沸点:37.5°C

闪光点:°C

折射率:1.292

密度:1.64

包装:钢瓶

八氟环戊烯是一种有毒,不可燃,低沸点的无色液体,略带特殊气味。

高纯八氟环戊烯(C5F8)广泛应用于半导体器件制造过程中蚀刻制程中,特别是用于加工最小几何特征(如互连线、接触、沟槽等的宽度)的尺寸和选择性的蚀刻。

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