中文名称：全氟环戊烯

中文别名：八氟环戊烯

CAS No：559-40-0

EINECS号：209-203-0

纯度：99.9％；99.99％

分子式：C5F8

分子量：212.04

沸点：37.5°C

闪光点：°C

折射率：1.292

密度：1.64

包装：钢瓶

八氟环戊烯是一种有毒，不可燃，低沸点的无色液体，略带特殊气味。

高纯八氟环戊烯(C5F8)广泛应用于半导体器件制造过程中蚀刻制程中，特别是用于加工最小几何特征（如互连线、接触、沟槽等的宽度）的尺寸和选择性的蚀刻。

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