四氟化硫SF4
纯度：99.999％
分子式：SF4
CAS：7783-60-0
分子量：108.05
熔点：-124℃
沸点：-38℃
外观：刺激味无色气体
用途：四氟化硫有机氟化剂，用于医药、中间体、医药试剂、精细化工、液晶面板材料、电子特气、蚀刻气体、表面处理剂、气相淀积等多领域应用。
包装：标准钢质气瓶，4L、10L、47L、可定制。
产品指标
项目 | 单位 | 指标 |
四氟化硫（SF4）≥ | Vol.% | 99.0 |
六氟化硫（SF6）≤ | Vol.% | 0.2 |
空气 ≤ | Vol.% | 0.1 |
二氧化碳（CO2）≤ | Vol.% | 0.05 |
四氟化碳（CF4）≤ | Vol.% | 0.1 |
其他氟硫化合物（SxFy）≤ | Vol.% | 0.5 |
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