中文名：六氟乙烷
英文名：Hexafluoroethane
别 名：全氟乙烷、R116制冷剂
化学式：C2F6
分子量：138.012
CAS登录号：76-16-4
EINECS登录号：200-939-8
熔 点：-100.6 ℃
沸 点：-78.2 ℃
水溶性：微溶
外 观：无色气体
六氟乙烷可用作等离子蚀刻气体、表面清洗剂、绝缘气体、制冷剂等。在制冷剂领域，六氟乙烷也被称为R116制冷剂、氟利昂116、PFC-116，是一种超低温制冷剂，可用于科研、医疗领域，在医疗领域还可用于手术中。半导体是六氟乙烷的重要下游市场，电子级六氟乙烷是重要的等离子蚀刻气体，可应用在硅、氮化硅、磷硅等材料蚀刻方面，并可对电子器件表面进行清洗，可以广泛应用在集成电路、微电子器件、光纤光缆、太阳能电池等领域。
操作注意事项：密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
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