四氟化碳也叫作四氟甲烷，全氟甲烷，四氟化碳的化学性质稳定，可以直接与硅接触不会发生化学反应，在适当的条件下，与氧化剂和还原剂会发生反应。与可燃性气体一起燃烧时，发生分解，产生的氧化物有毒。除此之外，还可以用作制冷剂为R14。

四氟化碳物理性质:

熔点-183.6℃

临界温度-45.67℃

沸点-128.1℃

临界压力3.73MPa

液体密度（-130℃）1.613g/cm3

临界密度7.1dm3/mol

液体折光率（-173℃）1.515

标准摩尔生成焓-932.31 kJ/mol

固体转变点72.2K

标准摩尔生成熵261.04J/（mol.K）

标准摩尔自由能-929.84 kJ/mol

标准摩尔生成自由能-887.41 kJ/mol

四氟化碳热导率:

温度（K） 热导率（10-4瓦/米.K）

300 185

500 310

350 216

600 373

400 249

700 435

450 279

      R14属于FC类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应，目前对于R14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。

      R14作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中（包括科研制冷、医用制冷等），R14同时也是超低温配合冷媒的重要组分。四氟化碳（四氟甲烷）是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

      R14制冷剂钢瓶为高压容器，储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒，通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内；搬运时应轻装、轻卸，防止钢瓶以及阀门等附件破损。

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