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四氟化碳
    发布时间: 2021-08-11 11:32    

四氟化碳是一种卤代烃,化学式CF4,无色,无味,无嗅气体。不溶于水,常压下25℃时为0.0015,溶于氯仿和苯。本Chemicalbook品无毒、不燃。高浓度时有麻醉作用。其高纯气及其配高纯氧气的混合气,是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可作为低温制冷剂、低温绝缘介质。


四氟化碳是一种卤代烃,化学式CF4,无色,无味,无嗅气体。不溶于水,常压下25℃时为0.0015,溶于氯仿和苯。本Chemicalbook品无毒、不燃。高浓度时有麻醉作用。其高纯气及其配高纯氧气的混合气,是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,也可作为低温制冷剂、低温绝缘介质。

 

中文名:四氟化碳

外文名:Carbon tetrafluoride

别    名:四氟甲烷、Freon-14、R 14、全氟甲烷  

化学式:CF4

分子量:88

水溶性:不溶于水

外观:无色、无臭、不燃的易压缩性气体

应用:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体及制冷剂

 

储存注意事项:储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。